增量式光柵尺

 超高精度

LIP敞開式直線光柵尺的測量步距非常小、 精度和重復精度非常高。它采用干涉掃描 法并采用DIADUR相位光柵作為測量基準 （LIP 281：OPTODUR相位光柵）。

高精度

LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是 SUPRADUR玻璃基體光柵，用干涉掃描方 法。特點是高精度和高重復精度，以及安 裝特別簡單，提供限位開關(guān)和回零軌。特 殊型號的LIF 481 V可用于10–7 mbar的高真 空應用（參見其單獨“產(chǎn)品信息”）。

高運動速度

LIDA敞開式直線光柵尺設(shè)計用于高速運 動，高速度達10 m/s。其安裝非常簡單 而且支持多種安裝方式。根據(jù)相應光柵尺 型號，METALLUR光柵的基體可為鋼帶、 玻璃或玻璃陶瓷。也帶限位開關(guān)。

二維光柵尺

PP二維光柵尺的測量基準是一個平面 DIADUR相位光柵，采用干涉掃描法。 用于測量平面中位置。

真空應用的光柵尺

我們的標準光柵尺適用于一般或中等真空 應用。高真空或超高真空應用的光柵尺需 要滿足一些特殊要求。其設(shè)計和材質(zhì)必須 滿足應用要求。更多信息，參見真空中應 用的直線光柵尺技術(shù)信息。

以下敞開式直線光柵尺于高真空或超 高真空應用環(huán)境。

• 高真空：LIP 481V和LIF 481V

• 超高真空：LIP 481U 更多信息，參見相應產(chǎn)品信息。

heidenhain海德漢光柵尺LIP 571精度1 µm 

LIP 571，LIP 581 超高精度增量式直線光柵尺

• 測量步距1 µm至0.01 µm

• 測量基準用固定架固定

如有需要詳情，請見：heidenhain海德漢光柵尺LIP 571精度1 µm?